耗散功率竟然能影響銅濺射等離子體的行為!
本文研究了在銅濺射等離子體中耗散功率對其影響的實驗結果。通過光發射光譜技術進行測量,探討了耗散功率對銅濺射等離子體的物理特性和行為的影響。
通過實驗結果發現,耗散功率的增加導致銅濺射等離子體中的電子溫度和密度的增加。此外,還觀察到了濺射過程中的輻射特性和粒子輸運行為的變化。
管道結垢難題有解了!DLC薄膜助力石油行業發展!
在石油行業,人們正在努力提高原油回收效率。例如,注入二氧化碳可以將原油的生產效率提高10%~15%。然而,隨著石油產量的增加,也面臨著更多的挑戰,管道腐蝕是其中之一。對于二氧化碳增強采收率(EOR)技術,生產油水混合物因高壓與二氧化碳過飽和而酸化,
一文讀懂濺射沉積技術
濺射鍍膜是指在真空室中,利用荷能粒子轟擊靶材表面,通過粒子動量傳遞打出靶材中的原子及其它粒子,并使其沉淀在基體上形成薄膜的技術。濺射鍍膜技術具有可實現大面積快速沉積,薄膜與基體結合力好,濺射密度高、針孔少,膜層可控性和重復性好等優點,而且任何物質都可以進行濺射,因而近年來發展迅速,應用廣泛。
HiPIMS:簡單的方法就能調控磁控濺射中的金屬/氣體離子比?
1)磁控濺射:HiPIMS中簡單的脈寬變化,就能調控膜層中的金屬/氣體離子比。
2)常規的磁控靶換成HiPIMS電源就可以達到上述效果。
不平凡的釩靶HiPIMS(放電區直徑約30mm放電電流達140A)
金屬釩(V)作為一種高熔點的稀有金屬材料,常與鈮、鉭、鎢、鉬并稱為難熔金屬。金屬釩具有耐鹽酸和硫酸的性能,并且耐氣-鹽-水腐蝕的性能要比大多數不銹鋼好。在某些特殊的重要場合,金屬V薄膜常被用來作為高溫隔離防護涂層,因此開展V靶HIPIMS放電特性方面的研究工作具有重要的意義。