鍍膜工藝技術分類和理論
鍍膜工藝技術分類和理論如下:
鍍膜工藝技術分為真空蒸發鍍膜、電阻式蒸發鍍膜、電子束蒸發鍍膜等。
真空蒸發鍍膜是把待鍍膜的基片或工件置于高真空室內,通過加熱使成膜材料氣化(或升華)而淀積到基片或工件表面上,從而形成一層薄膜的工藝過程。
電阻式蒸發鍍膜是蒸發源是真空蒸發鍍膜機的關鍵部件,根據蒸發源的不同可將真空蒸發鍍膜分為以下幾種:蒸發源電子束加電子束加熱式熱式電阻加熱電阻加熱式式感應加熱感應加熱熱熱激光加熱式激光加熱式蒸發源電子槍加熱電阻高頻螺旋線圈大功率激光器優點可蒸鍍高熔點膜材,蒸發速率快,膜材不受容器污染,可蒸鍍高純度薄膜。結構簡單造價便宜適合大批量生產。蒸發速率大(電阻式10倍),溫度均勻。可蒸發高熔點面膜材,激光器只能裝在真空室外對薄膜污染少。蒸發裝置屏蔽需要高頻發射器。
電子束蒸發鍍膜的電子槍燈絲是損耗零件,需定期更換。